Huttinger等離子體射頻電源TruPlasma Match1000提供解決方案

Huttinger等離子體射頻電源TruPlasma Match1000提供技術支持服務

　　高頻電流:測量用于識別等離子體異常的高精度AC電流測量裝置，于工藝流程就近安放在阻抗匹配器內，緊挨腔室。

　　電弧管理:是適用于等離子體工藝流程控制的理想模塊。有針對性的電弧識別確保生產(chǎn)效率，同時保護產(chǎn)品與設備。

　　接口：Analog/Digital、PROFIBUS和EtherCAT作為可選接口提供。標配EtherNet、SystemPort和RS232/485。

　　等離子體工藝就像一個復雜可變的負載，必須通過發(fā)生器為其不斷供電。這項工作由有源匹配網(wǎng)絡（所謂的阻抗匹配器）來完成，確保隨時匹配50Ω的最佳阻抗。由此形成協(xié)調的系統(tǒng)解決方案——通快RF系統(tǒng)。通過不同接口（如EtherCAT）可十分輕松地將發(fā)生器和阻抗匹配器集成至現(xiàn)有工藝環(huán)境之中，并通過發(fā)生器與阻抗匹配器的智能連接（即所謂的SystemPort）形成經(jīng)優(yōu)化的系統(tǒng)解決方案。

　　Huttinger霍廷格高頻電源PFG 1000

　　霍廷格huttinger DC3030直流磁控濺射電源

　　憑借主振蕩器可穩(wěn)定和優(yōu)化關鍵的同步等離子體過程。集成式數(shù)字頻率與相位合成器確保高頻率與相位穩(wěn)定性，可以實現(xiàn)按照極小的步幅調整相位。可選擇用于13.56 MHz頻率以及各種頻率組合的不同規(guī)格主振蕩器。

　　復雜的圖形表示實現(xiàn)全面管理所有相關工藝參數(shù)。負載與阻抗匹配器阻抗通過史密期圓圖，含頻率與相位在內的高頻輸入與輸出功率借助實時示波器進行可視化。